皮拉尼真空計可測量從大氣壓到5×10 _-2
Pa的寬范圍壓力。此外，該真空計去除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示部分，將其縮小到最少的必要功能，從而可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。
[特點] -廣域測量：可以測量
從大氣壓到5 x 10 _-2 Pa的廣域。
- 節(jié)省布線：集成傳感器和控制器可減少布線、空間和功耗。
?提高可視性：配備LED，可以檢查異常情況。
?可進(jìn)行一鍵式調(diào)整：可通過一鍵式進(jìn)行氣壓調(diào)整和零點調(diào)整。
?維護(hù)：探頭更換方便。
- 燈絲材料采用耐腐蝕性強(qiáng)的鉑金。
?測量值輸出信號：壓力為標(biāo)準(zhǔn)配備，日志輸出為DC0至10V。
?提高耐沖擊性：采用高耐沖擊性的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
?控制輸出信號：可輸出2個設(shè)定點。
- 兼容標(biāo)準(zhǔn)：符合CE標(biāo)準(zhǔn)。
[應(yīng)用] -
用于太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體和電子元件等各種設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。
?用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。
?用于在線型、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制。