半導(dǎo)體晶圓片缺陷檢測燈應(yīng)用

更新時間：2024-03-21

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LCD濾光片、偏光板。
晶圓、半導(dǎo)體。
玻璃或是金屬表面。
上列物品的刮痕及灰塵檢查。

晶圓片表面檢測燈特點

特殊波長，主波長為546、578nm知黃綠光且不傷人眼。
藉由人眼對黃綠光的高感度來檢查10um以下的刮痕或灰塵。
主機和光線部分為分離是可任意調(diào)整照射角度。
採用電子點燈方式，強度可任意調(diào)整
檢查精密加工表面的瑕疵、污點、異物等
快速無損檢測小至10微米的瑕疵、小顆粒
有效地探測出生產(chǎn)過程是早期的污物，節(jié)省生產(chǎn)時間及不必要的成本
黃色濾色片濾掉波長小于500nm的光線，防止產(chǎn)生熒光干擾
高對比度的光線能清晰檢測到精細的表面粒子
燈頭人體工學(xué)設(shè)計，易于操作

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半導(dǎo)體晶圓片缺陷檢測燈應(yīng)用

晶圓片表面檢測燈特點